Briff o Epitacsi Trawst Moleciwlaidd (MBE)
Datblygwyd technoleg Molecular Beam Epitaxy (MBE) yn y 1950au i baratoi deunyddiau ffilm tenau lled-ddargludyddion gan ddefnyddio technoleg anweddu gwactod. Gyda datblygiad technoleg gwactod uwch-uchel, mae cymhwyso technoleg wedi'i ymestyn i faes gwyddoniaeth lled-ddargludyddion.
Cymhelliant ymchwil deunyddiau lled-ddargludyddion yw'r galw am ddyfeisiau newydd, a allai wella perfformiad y system. Yn ei dro, gall technoleg ddeunydd newydd gynhyrchu offer newydd a thechnoleg newydd. Mae epitaxy pelydr moleciwlaidd (MBE) yn dechnoleg gwactod uchel ar gyfer twf haen epitaxial (lled-ddargludyddion fel arfer). Mae'n defnyddio pelydr gwres atomau ffynhonnell neu foleciwlau sy'n effeithio ar swbstrad grisial sengl. Mae nodweddion gwactod tra-uchel y broses yn caniatáu meteleiddio yn y fan a'r lle a thwf deunyddiau inswleiddio ar arwynebau lled-ddargludyddion sydd newydd eu tyfu, gan arwain at ryngwynebau di-lygredd.
Technoleg MBE
Cyflawnwyd yr epitacsi trawst moleciwlaidd mewn gwactod uchel neu wactod tra-uchel (1 x 10-8Pa) amgylchedd. Yr agwedd bwysicaf o epitaxy trawst moleciwlaidd yw ei gyfradd dyddodiad isel, sydd fel arfer yn caniatáu i'r ffilm dyfu epitaxial ar gyfradd o lai na 3000 nm yr awr. Mae cyfradd dyddodiad mor isel yn gofyn am wactod digon uchel i gyflawni'r un lefel o lanweithdra â dulliau dyddodi eraill.
Er mwyn cwrdd â'r gwactod uwch-uchel a ddisgrifir uchod, mae gan y ddyfais MBE (cell Knudsen) haen oeri, a rhaid cynnal amgylchedd gwactod uwch-uchel y siambr dwf gan ddefnyddio system cylchrediad nitrogen hylifol. Mae nitrogen hylifol yn oeri tymheredd mewnol y ddyfais i 77 Kelvin (−196 ° C). Gall yr amgylchedd tymheredd isel leihau ymhellach gynnwys amhureddau mewn gwactod a darparu amodau gwell ar gyfer dyddodiad ffilmiau tenau. Felly, mae angen system gylchrediad oeri nitrogen hylifol bwrpasol ar gyfer yr offer MBE i ddarparu cyflenwad parhaus a chyson o -196 ° C nitrogen hylifol.
System Cylchrediad Oeri Nitrogen Hylif
Mae system cylchrediad oeri nitrogen hylif gwactod yn bennaf yn cynnwys,
● tanc cryogenig
● pibell siacedi gwactod prif a changen / pibell wactod jacketed
● MBE gwahanydd cyfnod arbennig a bibell wacáu jacketed gwactod
● falfiau gwactod amrywiol
● rhwystr nwy-hylif
● hidlydd jacketed gwactod
● system pwmp gwactod deinamig
● System ailgynhesu rhag-oeri a glanhau
Mae HL Cryogenic Equipment Company wedi sylwi ar y galw am system oeri nitrogen hylifol MBE, wedi trefnu asgwrn cefn technegol i ddatblygu system cooio nitrogen hylifol MBE arbennig yn llwyddiannus ar gyfer technoleg MBE a set gyflawn o inswla gwactodedsystem bibellau, a ddefnyddiwyd mewn llawer o fentrau, prifysgolion a sefydliadau ymchwil.
Offer Cryogenig HL
Mae HL Cryogenic Equipment a sefydlwyd ym 1992 yn frand sy'n gysylltiedig â Chhengdu Holy Cryogenic Equipment Company yn Tsieina. Mae HL Cryogenic Equipment wedi ymrwymo i ddylunio a gweithgynhyrchu'r System Pibellau Cryogenig Wedi'i Hinswleiddio â Gwactod Uchel ac Offer Cymorth cysylltiedig.
Am ragor o wybodaeth, ewch i'r wefan swyddogolwww.hlcryo.com, neu e-bostiwch atinfo@cdholy.com.
Amser postio: Mai-06-2021