Briff o epitaxy trawst moleciwlaidd (MBE)
Datblygwyd technoleg epitaxy trawst moleciwlaidd (MBE) yn y 1950au i baratoi deunyddiau ffilm tenau lled -ddargludyddion gan ddefnyddio technoleg anweddu gwactod. Gyda datblygiad technoleg gwactod ultra-uchel, mae cymhwyso technoleg wedi'i ymestyn i faes gwyddoniaeth lled-ddargludyddion.
Cymhelliant ymchwil deunyddiau lled -ddargludyddion yw'r galw am ddyfeisiau newydd, a allai wella perfformiad y system. Yn ei dro, gall technoleg deunydd newydd gynhyrchu offer newydd a thechnoleg newydd. Mae epitaxy trawst moleciwlaidd (MBE) yn dechnoleg gwactod uchel ar gyfer twf haen epitaxial (lled -ddargludyddion fel arfer). Mae'n defnyddio pelydr gwres atomau ffynhonnell neu foleciwlau sy'n effeithio ar swbstrad grisial sengl. Mae nodweddion gwactod ultra-uchel y broses yn caniatáu meteleiddio yn y fan a'r lle a thwf deunyddiau inswleiddio ar arwynebau lled-ddargludyddion sydd newydd eu tyfu, gan arwain at ryngwynebau di-lygredd.
Technoleg MBE
Gwnaed yr epitaxy trawst moleciwlaidd mewn gwactod uchel neu wactod uwch-uchel (1 x 10-8Pa) amgylchedd. Yr agwedd bwysicaf ar epitaxy trawst moleciwlaidd yw ei gyfradd dyddodi isel, sydd fel arfer yn caniatáu i'r ffilm dyfu epitaxial ar gyfradd o lai na 3000 nm yr awr. Mae cyfradd dyddodi isel o'r fath yn gofyn am wactod digon uchel i gyflawni'r un lefel o lendid â dulliau dyddodi eraill.
Er mwyn cwrdd â'r gwactod uwch-uchel a ddisgrifir uchod, mae gan y ddyfais MBE （Knudsen Cell） haen oeri, a rhaid cynnal amgylchedd gwactod ultra-uchel y siambr dwf gan ddefnyddio system cylchrediad nitrogen hylifol. Mae nitrogen hylif yn oeri tymheredd mewnol y ddyfais i 77 kelvin (−196 ° C). Gall yr amgylchedd tymheredd isel leihau cynnwys amhureddau mewn gwactod ymhellach a darparu amodau gwell ar gyfer dyddodi ffilmiau tenau. Felly, mae angen system cylchrediad oeri nitrogen hylif pwrpasol er mwyn i'r offer MBE ddarparu cyflenwad parhaus a chyson o nitrogen hylif -196 ° C.
System cylchrediad oeri nitrogen hylif
Mae system cylchrediad oeri nitrogen hylif gwactod yn cynnwys yn bennaf, yn cynnwys,
● Tanc cryogenig
● Pibell Jacketed Gwactod Prif a Changen / Pibell Jacketed Gwactod
● MBE Gwahanydd Cyfnod Arbennig a Gwactio Gwacáu Gwacáu Jacketed
● Amrywiol falfiau jacketed gwactod
● Rhwystr nwy-hylif
● Hidlydd jacketed gwactod
● System pwmp gwactod deinamig
● System ailgynhesu precooling and carthu
Mae Cwmni Offer Cryogenig HL wedi sylwi ar y galw am system oeri nitrogen hylif MBE, asgwrn cefn dechnegol wedi'i drefnu i ddatblygu system oeri nitrogen hylif MBE arbennig yn llwyddiannus ar gyfer technoleg MBE a set gyflawn o Insulat gwactodedSystem bibellau, sydd wedi'i defnyddio mewn llawer o fentrau, prifysgolion a sefydliadau ymchwil.
Offer cryogenig HL
Mae Offer Cryogenig HL a sefydlwyd ym 1992 yn frand sy'n gysylltiedig â chwmni Offer Cryogenig Sanctaidd Chengdu yn Tsieina. Mae Offer Cryogenig HL wedi ymrwymo i ddylunio a gweithgynhyrchu'r system pibellau cryogenig wedi'i inswleiddio gan wactod uchel ac offer cymorth cysylltiedig.
Am ragor o wybodaeth, ewch i'r wefan swyddogolwww.hlcryo.com, neu e -bost iinfo@cdholy.com.
Amser Post: Mai-06-2021
