Crynodeb o Epitacsi Trawst Moleciwlaidd (MBE)
Datblygwyd technoleg Epitacsi Trawst Moleciwlaidd (MBE) yn y 1950au i baratoi deunyddiau ffilm denau lled-ddargludyddion gan ddefnyddio technoleg anweddu gwactod. Gyda datblygiad technoleg gwactod uwch-uchel, mae cymhwysiad y dechnoleg wedi'i ymestyn i faes gwyddoniaeth lled-ddargludyddion.
Y cymhelliant dros ymchwil i ddeunyddiau lled-ddargludyddion yw'r galw am ddyfeisiau newydd, a all wella perfformiad y system. Yn ei thro, gall technoleg deunyddiau newydd gynhyrchu offer newydd a thechnoleg newydd. Mae epitacsi trawst moleciwlaidd (MBE) yn dechnoleg gwactod uchel ar gyfer twf haen epitacsial (lled-ddargludyddion fel arfer). Mae'n defnyddio trawst gwres atomau neu foleciwlau ffynhonnell sy'n effeithio ar swbstrad crisial sengl. Mae nodweddion gwactod uwch-uchel y broses yn caniatáu metelu a thyfu deunyddiau inswleiddio yn y fan a'r lle ar arwynebau lled-ddargludyddion sydd newydd eu tyfu, gan arwain at ryngwynebau di-lygredd.
Technoleg MBE
Cynhaliwyd yr epitacsi trawst moleciwlaidd mewn gwactod uchel neu wactod uwch-uchel (1 x 10-8amgylchedd Pa). Yr agwedd bwysicaf ar epitacsi trawst moleciwlaidd yw ei gyfradd dyddodiad isel, sydd fel arfer yn caniatáu i'r ffilm dyfu'n epitacsaidd ar gyfradd o lai na 3000 nm yr awr. Mae cyfradd dyddodiad mor isel yn gofyn am wactod digon uchel i gyflawni'r un lefel o lendid â dulliau dyddodiad eraill.
Er mwyn bodloni'r gwactod uwch-uchel a ddisgrifiwyd uchod, mae gan y ddyfais MBE (cell Knudsen) haen oeri, a rhaid cynnal amgylchedd gwactod uwch-uchel y siambr dyfu gan ddefnyddio system gylchrediad nitrogen hylif. Mae nitrogen hylif yn oeri tymheredd mewnol y ddyfais i 77 Kelvin (−196 °C). Gall yr amgylchedd tymheredd isel leihau cynnwys amhureddau mewn gwactod ymhellach a darparu amodau gwell ar gyfer dyddodiad ffilmiau tenau. Felly, mae angen system gylchrediad oeri nitrogen hylif bwrpasol ar gyfer yr offer MBE i ddarparu cyflenwad parhaus a chyson o nitrogen hylif -196 °C.
System Cylchrediad Oeri Nitrogen Hylif
Mae system gylchrediad oeri nitrogen hylif gwactod yn cynnwys yn bennaf,
● tanc cryogenig
● prif bibell a changen â siaced gwactod / pibell â siaced gwactod
● Gwahanydd cyfnod arbennig MBE a phibell wacáu â siaced gwactod
● falfiau gwactod amrywiol
● rhwystr nwy-hylif
● hidlydd â siaced gwactod
● system pwmp gwactod deinamig
● System ailgynhesu cyn-oeri a phurgio
Mae Cwmni Offer Cryogenig HL wedi sylwi ar y galw am system oeri nitrogen hylif MBE, wedi trefnu asgwrn cefn technegol i ddatblygu system oeri nitrogen hylif MBE arbennig ar gyfer technoleg MBE a set gyflawn o inswleiddio gwactod yn llwyddiannus.edsystem bibellau, sydd wedi cael ei defnyddio mewn llawer o fentrau, prifysgolion a sefydliadau ymchwil.
Offer Cryogenig HL
Mae HL Cryogenic Equipment, a sefydlwyd ym 1992, yn frand sy'n gysylltiedig â Chwmni Cryogenig Sanctaidd Chengdu yn Tsieina. Mae HL Cryogenic Equipment wedi ymrwymo i ddylunio a chynhyrchu'r System Pibellau Cryogenig Inswleiddio Gwactod Uchel ac Offer Cymorth cysylltiedig.
Am ragor o wybodaeth, ewch i'r wefan swyddogolwww.hlcryo.com, neu e-bostiwch atinfo@cdholy.com.
Amser postio: Mai-06-2021
